第三百五十一章 投影式光刻技术(第 1/3 页)

    晚上十二点，整个江夏电子厂的大部分车间都已经黑漆漆一片，只有值夜班的保卫科人员，在打着手电筒来回巡逻。

    然而只在芯片车间所在的西北角，这里仍然灯火通明，那为了避免干扰光刻而独有的黄光，代表里面仍然处于紧张的工作状态，那黄澄澄如同雾蒙蒙一般的光晕，似乎也预示着光刻作为顶尖精密制造的神秘。

    车间办公室里，总工程师张本松和一众工程师都围坐在桌前开会。

    “的确这种投影式光刻机对比之前的接触式光刻机提高了相当大精度，而且采用凹透镜和凸透镜相结合的高斯型镜头，也能消除大部分场曲和像差。”

    “除此之外还有光掩模的制作，以及烘焙刻蚀这些，也基本和接触式光刻步骤一样，不需要我们额外掌握，甚至于由于光掩模无需再直接接触光刻胶，烘焙的精度也变得不那么重要，这是我们的优势。”

    “但同时我们也必须注意到，由于接触改投影，我们也面????????????????临光刻方面的新问题，首当其冲的就是光衍射问题……”

    还是那个最烦人的原理，光不是沿一条直线传播，而是具有波粒二象性，尤其在通过窄缝以后，这种衍射现象更加严重。

    “虽然经过今天一天的测试，以及和江夏电子厂的同志，还有远在宁海的同志交流以后，对我们有很大的启发，我们也收获了相当不错的成果，但这还远远不够，我希望大家明天能再接再厉，早日攻克投影式光刻技术！”

    张本松看了一眼墙上的时钟，然后告诉大家今天时间已经很晚，示意大家都回去休息：“我知道大家都很为技术着急，但攻克技术并不是一朝一夕的事，身体才是革.命的本钱，大家都休息好了，才能以更加饱满的状态迎接新的挑战！”

    总结完然后散会，一众技术工人和工程师们先行离开，张本松留在最后。

    有人劝张本松也先去休息，但张本松却总是笑着表示：“我就差最后一点没记录完，这种事情可不能拖，你们先回去休息吧，我记录完就休息。”

    张本松继续埋头，虽说他的右手经过医院的诊治已经好的差不多了，但仍然不好握笔，因此影响他记录工作。

    很快一个小时过去，当张本松完成对今天工作的记录，他却没有离开办公室去休息，而是走向芯片车间，撕下自己记录的那张纸贴在洁净室外面的玻璃上。

    这是张本松他们的常规操作，由于要确保洁净室内的绝对干净，因此就连纸张他们也避免带进去，但同时他们又需要根据自己的运算做出调整，只好从外面贴在玻璃上，将玻璃当成提示板用了。

    熟练的取出一张打磨好的硅晶圆，按照步骤清洗涂胶烘焙。

    尽管这些都是从接触式光刻沿用下来的步骤，张本松都做过好几十次，但他仍然小心翼翼，确保每一步都准确无误。

    很快三个小时过去，当张本松带着隔热手套从烤箱里取出烘焙好的硅晶圆时，就听洁净室的玻璃杯轻轻敲响，张本松转头就看到几张熟悉的脸孔，那是自己手底下学习最认真的工程师和技术工人。

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