第二十章 真空镀膜（上）(第 2/4 页)

    箱体内主要有两台大型设备，左边的是蒸镀装置。

    蒸镀舱的舱体是由厚重的钢板所制，舱门用轨道连接在舱体上。

    许秋将舱门朝右边推开，推着还蛮沉的。

    他好奇道：“学姐，这套设备也不便宜吧。”

    “整套设备差不多20万吧，包括蒸镀舱、分子泵、循环水系统、总控制台，是找沈羊一家专门做真空设备的公司订做的。

    他们公司离这边比较远，所以弄坏的话修起来也麻烦，上次循环水出了故障，他们过来修，路费就要了五千。”陈婉清。

    “学姐怎么知道的这么清楚？”许秋疑惑道。

    “因为学校要统计实验室的固定资产，价格超过1000元的都要统计上报。实验室虽然是魏老师管，但所有权是归国家的，因为申请的科研经费是国家出的。除非是老板自掏腰包或者企业出钱，那就另说。”陈婉清道。

    许秋点点头，开始打量舱体内部。

    下面有四个圆柱体形状的炉子，应该是束源炉。

    四个束源炉旁边有两个金属平台，每个平台上面都有一块金属板，大概六厘米长，三厘米宽，一厘米厚，金属板通过六角螺丝与平台连接，中间有一定的缝隙。

    “学姐，这个是干什么用的？”许秋指着平台问道。

    “这个是电流加热装置，将用钨丝制成的篓，放在两个平台间，用金属板压住钨篓两端，通电流对钨篓加热，可达到很高的温度，使其内部靶材气化，进行蒸镀。”陈婉清道。

    许秋继续看向舱体，中间部分有一探头状的物体，像个吊灯一样悬挂在束源炉和平台的上方。

    学姐顺着许秋的目光看去，主动介绍道：

    “这个是晶振装置，探头处装有晶振片，用来实时检测蒸镀的薄膜厚度。它的位置一定不能乱动，因为现在的参数是已经标定过的，如果移动了它的位置，对膜厚的检测结果就不标准了。此外晶振片也是有寿命的，所以需要定期更换晶振片，并重新标定厚度。”

    舱体最上面是一块大的圆形金属挡板，以及一个可以旋转的样品台。

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