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    第259章 p型、n型、共掺杂(第 4/4 页)

    陈舟本来还奇怪彭飞居然一下午没过来找他,打电话时才明白过来。

    彭飞这会正忙着金刚石薄膜成品的收集呢。

    采用改进工艺制备的金刚石薄膜已经完成。

    听彭飞的意思,陈舟估计他今晚又会熬夜加班。

    而且还不知他一个人……

    在外面简单的吃了晚饭,陈舟和沈靖就回到了酒店。

    沈靖本打算像先前一样跟到陈舟房间的,结果被陈舟拦了下来。

    “晚上好好休息,明天有你忙的。”丢下这么一句话,陈舟就关门进了房间。

    门外,沈靖看着被关上的房门,嘀咕道:“这该不会是闭关吧?”

    房间里,陈舟迅速打开电脑,掏出草稿纸和错题集。

    “就在今晚了……”

    只扫了一眼,下午的思路便接续上了。

    陈舟再次沉浸于n型掺杂和共掺杂的问题研究中。

    原本特意准备的一沓崭新的a4草稿纸,随着时间的推移,渐渐变薄。

    而他一直所心疼的笔芯,也在以一种超乎常理的速度,不断流逝在草稿纸上。

    错题集上的内容,也在不断的增减着。

    “不管氮源和磷源的采用的是什么,目的就只有一个……”

    “不管装置内的系统是什么样的,它都始终只为了制备出掺杂的金刚石薄膜……”

    陈舟的思路变得清晰起来,方向也逐渐明确。

    在四十三所的共掺杂实验中,装置内并没有采用多余的系统作为辅助。

    但其实,如果有其它系统辅助的话,可能结果会更好也说不定。

    这是国外的一篇文献给陈舟的启发。

    把写满的草稿纸拿到一边,换上一张新的草稿纸,再把笔芯换上满水的。

    陈舟在草稿纸上写到:

    【在nimnco—c系统中,采用p2n5、羰基离子粉末和磷粉末在高温高压下混合,提供氮源和磷源,以此方法掺杂金刚石……】

    写完这句话,陈舟突然笑了出来。

    “这么简单的道理,为什么我还想了这么久?”

    相比单纯的氮掺杂金刚石,sp3-ch3形式的h原子更容易掺入磷—氮共掺的金刚石晶格中,提高共掺杂金刚石的质量。

    因为在磷—氮共掺系统中,磷原子掺入后产生许多缺陷,形成了碳原子悬挂键,有助于氢原子掺入金刚石晶格。

    而氢原子可以刻蚀sp2相,有利于高质量金刚石薄膜的沉积。

    “系统和氮源、磷源确定后,那共掺杂实验剩下的问题,就好解决了……”

    陈舟说着,把放在一旁的几张草稿纸拿了过来。

    这是在研究氮源和磷源时,针对不同情况,陈舟所做的参数研究。

    这会,正好拿来验证。

    一般的衬底温度、掺杂浓度、工作压力等等等等,通过错题集的试错,很快就能得到一个大致区间。

    再经过分析模型的验证,再回转到错题集进一步试错。

    那就成了!

    把共掺杂的问题一解决,那n型掺杂的问题,也就是铺在纸面上的答案了。
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