第226章 如果有这一半的速度，再加上这质量…(第 2/4 页)

    工作，具有专注力的工作，将抵消那股疲惫的困意！

    给自己打了个气，沈靖便开始继续了。

    陈舟这边，等沈靖离开后，便坐回桌子前，继续看文献。

    还剩两个，直流电弧等离子喷射cvd法和微波等离子体cvd法。

    直流电弧等离子喷射cvd法，也叫dapcvd法。

    这是一种放电区内隐的直流电弧等离子体沉积法。

    这种方法的优点就是，有极快的沉积速度。

    是极快，不是一般的快！

    在上世纪90年代的时候，就有实验室利用阴阳极呈直角的反应器实现了930m/h的高速生长。

    这可是930m/h，不是930μm/h！

    而且，就算是930μm/h，那也是远高于现在四十三所制备金刚石薄膜的40μm/h的。

    更不要说930m/h了。

    相比之下，一个的速度就是火箭，另一个则是自行车。

    或许连自行车都算不上。

    也是因为这种告诉生长的速率，这种方法一度成为热点方法。

    制备工艺的话，也并不复杂。

    主要就是在杆状阴极和环形阳极之间施加直流电压，当气体通过时引发电弧，加热气体，高温膨胀的气体从阳极嘴高速喷出，形成等离子体射流。

    引弧的气体通常是氩气，等形成等离子体射流后，通入反应气体甲烷和氢气，甲烷和氢气被离化，并达到水冷沉积台的衬底，在衬底上成核、生长金刚石薄膜。

    而且这种方法制备金刚石薄膜，不禁速度快，而且质量高，还无电磁污染。

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