第一百五十九章 生根发芽(第 2/4 页)

    王院士的加入让团队信心大增，30多名科研人员连续攻坚一个月，终于在光束稳定技术上取得了成果。

    此次的光束稳定系统包括光束测量和光束转向两大核心功能模块，在推导了两个模块之间的光束传递矩阵后，王院长非常大胆的决定搭建光电闭环控制系统，通过引入已知光束偏移量后，数据显示，系统的指向稳态误差低于±3μrad，位置稳态误差低于±0.04mm，系统调整时间小于80ms。

    实验结果令人振奋。”

    “2001年11月28日，晴。

    由长光所和江大共同组建的扩束系统小组带来了好消息，全新设计的系统可以满足光束在5-20m传输光路范围内不需要进行透镜间隔调节，实现光斑大小和发散角满足设计要求，保证目标光束口径在(28. 5±0. 5) mm范围内，x方向发散角为1.2mrad，y方向发散角为1.84mrad。

    该项研究将对光刻机研发产生巨大影响。”

    此时的长春实验室。

    “王院士，光源能量稳定，光斑数据正常。”

    “打开遮光器。”

    “是。”

    ...

    “2001年12月1日，晴。

    今天从江大的李教授提出了一个前沿的研究，针对准分子光源特性，提出了基于光棒和复眼的实现对掩膜面高均匀照明的两种方法。

    针对入射准分子激光强度的波动性和强度分布的随机性，提出采用阵列型照明模式变换元件对光束进行变换，以实现各种照明模式下光瞳的对称性和一致性。

    研究了相干因子调整系统中可能存在的各种误差源对相干因子、光瞳椭圆度、光瞳极平衡性、远心度的影响。”

    “2001年12月5日，晴。

    清华，燕航以及长光所成功合作研制了全新衍射光学元件，极大的降低了杂散光的影响，全新的算法将为我们自主研发的光刻机提供强有力的技术支持。”

    此时的长春实验室。

    “王院士，可以进行数据采集了。”

    “开始吧。”

    “是。”

    ...

    “2001年1月8日，晴。

    -->>(第 2/4 页)（本章未完，请点击下一页继续阅读）