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    第20章 光刻机(第 3/4 页)

    但就在云凌峰还没有话音未落。

    跟随进来的科学院陈院士,半导体徐院士,研究院刘院士,八零八研究院李院士几人,眼睛都直了。

    如果看到了稀世珍宝一般,越过云凌峰,七个人惊疑不定的杵在了光刻机前。

    都不敢上前触摸,深怕自己的脏手玷污了光刻机,只敢远远的观看。

    “这,这,这就是1纳米光刻机!”

    “我滴天,有生之年能够亲眼见到1纳米光刻机,这辈子,值了!”

    “哈哈哈,我看到了什么,比5纳米光刻机还要精密的透镜组合系统,这究竟是怎么做到的。”

    “曝光系统可分为照明光学系统和投影光学系统,简单来说,就是光源发出一定波长的光线被吸收后,通过反射镜形成所需要的光照方式,照在掩膜上。”

    “掩膜同样可以反射,经过反射后光已经包含了图形信息,通过另一组反射镜投影在晶圆上,实现曝光!”

    “这应该就是传感器系统了,不过传感器的数量,比起5纳米光刻机,足足多了三倍。”

    “云总,我们可以亲眼看到加工晶圆吗?”

    几个最高规格院士,无比振奋的回头目光真挚的盯着云凌峰。

    云凌峰点了点头,让几名技术人员开启了光刻机。

    这需要点时间,需要几个阶段的开启。

    工部尚书卢风也是非常激动的踌躇在地。

    比起看到成型的芯片,他更想看到光刻机真正工作时的样子。

    甚至于此时卢风都屏住了呼吸,两眼直勾勾的盯着工作台。

    而卢风的身后,则是大眼瞪小眼的陇西郡郡守,金城城主城主几人。

    光刻机?

    他们不懂!

    见过吗?

    金城城主表示他真的没见过!

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