第90章 极紫外线光刻机(第 3/4 页)

    ……

    不知道过去多长时间，直到徐磊听到耳旁有声音在喊自己，这才控制意识暂时脱离博物馆。

    “徐总，杨院长正在外面等着你呢。”

    徐磊刚睁开眼睛，一张漂亮的脸蛋顿时占据了视野。

    正是他的助理陈诗禾。

    待回过神来后，徐磊随即伸出双手揉了揉略显僵持的脸庞，便准备起身向外面走去。

    刚好他也要找机会和杨森平商议合作制造顶级光刻机的事情。

    倒是陈诗禾看到徐磊这幅表现，还以为他没有休息好，便连忙开口提议道：“徐总，要不你还是再多休息会吧，我去和杨院长说一声。”

    “没事。”

    “我们出去吧。”

    无论在博物馆待多长时间，都不会影响到外面身体的状态，所以徐磊直接否决了陈诗禾的提议。

    说着拉开房门径直走了出去。

    见此陈诗禾也没有办法，只得连忙跟上去好方便自己随时掌握徐磊的状况。

    由于上午在杨森平的带领下参观了几项技术的实验室，下午徐磊倒也表现的轻车熟路，遇到自己感兴趣的东西还会特意和科研人员以及院士交流。

    通过详细了解。

    徐磊知道目前国产光刻机的困境，主要在激光器物镜和特殊复合材料，以及关键的高端光刻胶上面。

    光刻机的工作原理是首先通过激光器发光，经过校正在能量控制器和光束成型装置的作用下进入光掩膜台，然后在物镜系统的投射下来到曝光台，因为此时晶圆片上涂抹了光刻机具有光敏感性，紫外光线就会晶圆上蚀刻出电路。

    其中会用到顶级极紫外式和高端浸入式技术。

    激光器负责光源的产生，这对制程是起到决定性影响的，需要光源波段保持在适合的长度。

    物镜系统海外光刻机则需要依赖徳国的蔡司光学镜头。

    至于特殊复合材料和光刻胶，却被霓虹国公司所垄断。

    要想同时具备这些技术，其中难度可想而知。

    若不是徐磊已经获得了顶级光刻机的全套详细技术，真不知道需要多长时间才能把这些难题全部攻克解决。

    但或许是心照不宣的缘故，过程中徐磊和杨森平双方都没有在提及研发光刻机的事。

    就像是完全抛之脑后了一样。

    直到接近下午五点，徐磊等人准备返回酒店的时候，杨森平才算按耐不住再次讲到了上午说的那件事。

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