第177章 国产DUV光源(第 2/4 页)

    “赵教授，实验就要开始了。”顾青提醒道。

    赵兴夏点了点头。

    不论是近紫外（nuv）激光还是深紫外（duv）激光，又或者最高端的极紫外光euv。

    它们都有个紫字，并非是很深奥的问题，因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。

    九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的ss1mb光源，为这个分辨率90nm的s1a60020光刻机的适配光源设备是duv深紫外光。

    光源设备运行，激光器发射出来的深紫外光

    经过矫正后，进入能量控制器、光束成型装置等设备，再进入光掩膜台。

    光掩膜台上面放的测试用的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台。

    曝光台上放置着一张8英寸晶圆片，上面涂抹了光刻胶。

    半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的，但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。

    “这，这，这……”

    “这居然是真的，国产duv光源？我不是在做梦吧，老赵。”

    “纯净度极为优秀”

    刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机，嘴巴不自觉张大，眼神有些涣散。

    李由作为一个有家室的中年人，很是照顾后辈。

    他走到这人身旁，拍了拍他的肩膀。

    “回回神，这才刚开始。”

    “啊？啊？什么开始？你们可以把这个光源卖给我们吗？现在就可以用我们国产的光源了吗？”

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