第二十八章 主动加班(第 4/4 页)

    没有了系统的实时指导，许秋只能只能凭借脑海中的记忆，自行摸索条件。

    第一次，他像正常旋涂操作那样，将移液枪垂直于基片，直接喷涂，最终在薄膜的中央形成了一个大洞。

    第二次，他将移液枪斜着喷涂，结果操作过程中手抖了一下，最终薄膜上出现了明显的分层。

    两次实验失败后，许秋决定先用玻璃片代替ito基片试试手感。

    喷涂法比较节省溶液，1毫升溶液可以喷涂40次以上，而旋涂只能15次左右，所以也不怕浪费。

    他使用上次剩下的溶液，经过十几次的练习后，终于总结出了操作诀窍：

    先将移液枪头从中间剪断，吸取20微升溶液，按下匀胶机的启动键；

    然后在枪头距离基片约5厘米的地方，瞄准基片边缘，以约45度夹角，瞬间将全部溶液挤出；

    整个过程中，手抖动幅度不能过大，而且溶液挤出的速度一定要快。

    数了下剩余基片数量：一共24片基片，用掉了17片，还剩下7片。

    许秋思索片刻，决定将实验组b的条件变更为：

    氯仿（10毫克每毫升，1:1）、氯苯（16毫克每毫升，1:1）、二氯苯（20毫克每毫升，1:1）；转速1000、1200、1500；喷涂法。

    这样，刚好可以再用掉6片基片，还余下1片。

    接下来的实验没出什么意外，许秋将旋涂完成的基片溶剂退火、热退火、擦片。

    接着转移至另一手套箱，装好后，启动蒸镀装置，开始抽真空。

    最后回到办公桌休息，坐等五点半。