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    第七十一章 仪器故障(上)(第 3/4 页)

    我也纳闷怎么会有警报声呢?”

    吴菲菲说完,像是发现了什么,说道:

    “等下,这里不对,分子泵过热保护?

    还是头一次出现这种情况。”

    许秋也凑过去,他看到分子泵模块的面板上显示“警告,分子泵过热保护”,同时分子泵的转速为0。

    再看向上方的气压计,现在是3.2e-3帕,并且数值在缓慢增大。

    这样看来是分子泵停止工作,只余下机械泵在工作,无法维持蒸镀舱内的真空度。

    他想了想,说道:

    “吴菲菲,先把设备关闭吧,我们再来排查原因。”

    吴菲菲依次关闭了分子泵、机械泵和蒸镀机器的电源,警报声终于停了。

    许秋分析道:

    “刚才提示的是分子泵过热保护,那有可能是散热的问题,会不会是循环水系统出现了问题呢?”

    “有道理,可是循环水系统已经启动了啊。”吴菲菲道。

    “这样吧,我先到里面看看。”许秋道。

    循环水系统的原理很简单,它的主体是一个储水罐,内部有冷却装置,可以降低水温,还有一个进水口和一个出水口,分别引出一根管子。

    水从出水口流出,在管子中流动,经过需要水冷却的装置,利用水的高比热容带走大量热量,最终从进水口回到储水罐。

    这个装置要正常工作,储水罐内的水位需要达到一定的高度。

    因为循环水系统是放置在控制台和手套箱的夹缝处,旁边还有一个实验台阻挡,所以不是很好进去。

    平常想要开启它,都是用一根长木棍去戳它的启动按钮。

    许秋断掉蒸镀仪器的总电源,小心翼翼的从控制台和手套箱的缝隙处,侧身进入。

    脚踩在地面上,他感觉不太对劲。

    低头一看,地上有一摊水,从循环水系统下面的地板一直延伸出来。

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