392 为科学献身的时候到了（求订阅）(第 1/4 页)

      蒸镀舱的真空度达标后，许秋和莫文琳又回到实验室，先按照正常的方法用束源炉加热法蒸镀了三氧化钼。

      之后等待束源炉温度降低至100摄氏度以下，开始准备蒸镀金属电极。

      平常蒸镀厚膜金属电极的时候，蒸镀的速率并不是很重要，有的时候赶时间，还会直接用闪蒸的操作方式制备电极。

      所谓闪蒸，突出一个字“闪”，就是直接用大电流，在不烧断保险丝的前提下，把蒸镀速率拉满，嗖的一下就把膜给镀好了。

      对比一下，正常蒸金属电极是大约1埃每秒，即0.1纳米每秒的蒸镀速率，蒸100纳米需要大约17分钟。

      而闪蒸的速率可能会达到6埃每秒，甚至10埃每秒以上，直接几分钟就能搞定。

      除了蒸的快，闪蒸还有另外一个优点，那就是蒸的厚，对靶材的利用率高。

      尤其是平常在蒸镀金的时候，因为金比较贵嘛，所以为了防止浪费，都是尽量少加金靶材，然后直接闪蒸的。

      根据许秋的经验，如果闪蒸把金全部蒸完，得到的金膜厚度是100纳米的话，正常速率蒸镀得到的厚度可能就只有30-50纳米，差距还是非常大的。

      凡事有利就有弊，闪蒸也是有缺点的，那就是会让蒸镀得到的薄膜变得不均匀。

      举一个不太形象的例子，可以把蒸镀的过程想象下冰雹的过程，器件表面想象成为泥土地面，蒸镀速率越快，冰雹颗粒越大，下落的速度越快，就更容易把地面给砸出坑来。

      对应在蒸镀过程的体现，就是蒸镀速率越快，靶材分子越会倾向于渗入有效层或者传输层薄膜中，从而形成不同位置厚薄不同的金属电极。

      当金属电极的总厚度比较厚的时候，厚薄不均匀的影响不大，假设膜厚在100纳米，厚度的偏差在10纳米，最终得到的厚度分布也会是100±10纳米，自然不会影响到电极的导电性能。

      可如果厚度比较薄的时候，这个影响就明显了，厚度是10±10纳米，有些地方就直接断路了。

      因此，现在蒸镀1纳米的金，9纳米的银的双层薄层电极，为了保证电极的连续性，不仅不能闪蒸，而且还要进一步压低蒸镀速率。

      许秋计划选用的蒸镀速率是0.2埃每秒左右，和蒸镀三氧化钼传输层的速率相当，这样蒸1纳米的金，需要大约1分钟，9纳米的银，大约需要7分半钟，比平常蒸镀的时间还要短。

      理论合理，实践开始。

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