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    第225章 摇人帮忙(为阿歷加更3)(第 3/4 页)

    这篇文献对于hfcvd法制备金刚石膜的介绍比较全面。

    虽然这种方法是cvd法的鼻祖,但是现在使用的仍然非常普遍,而且发展成沉积金刚石薄膜较为成熟的方法之一。

    这种方法需要在衬底上方设置金属热丝,常用的像钨丝、钽丝。

    再将含碳气体高温加热到2000~2200c,进行分解,形成活性粒子。

    在氢原子作用下,就会在衬底上沉积而形成金刚石。

    这种方法,虽然简单,但是沉积效率很低,比四十三所现在用的方法要低很多。

    不仅如此,而且工艺稳定性差,容易造成污染。

    虽然文献中还提了两种改良的方法,但是陈舟同样不认同。

    因为效率是提高了,但是金刚石薄膜的质量,还是太低。

    对于金刚石半导体材料和器件的研究,显然不适用。

    但是,改良方法,陈舟觉得可以一试。

    一种是反应气体分送的hfcvd法,也就是把碳源气体和氢气由热丝的下方和上方分别送入。

    另一种是电子助进的hfcvd法,通过给衬底加大约150v的偏压,实现沉积速率的提升。

    陈舟看文献的速度很快,即使是一边看一边记的情况,他的效率也远远超过了其他人。

    这也得益于他系统学科升级所提供的加成。

    在来之前,他把化学也悄悄的升到了lv2,以备不时之需。

    所以,有了化学学科等级的加成,陈舟疯狂的汲取着相关的化学知识。

    和学数学物理不同的是,陈舟不打算用同样的方法去学化学和生物。

    化学和生物这两门更偏向于实验和应用的学科,陈舟打算从实验和应用入手。

    借助学科等级的加成,以高效的学习,从实验和应用中去找未知。

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