第259章 突破14nm光刻机工艺(第 3/4 页)

    陈序听了一会，然后一把把香烟摁灭，起身道：“走，带我过去看看。”

    光刻机和别的设备不一样，它里面大部分零部件都需要专门定制。

    什么意思呢，就是你想在市场上买配件来组装都不可能。

    而越高端定制的比例也越高，到了10nm这个级别，里面90%以上都是定制的。

    且不是你想定制就能定制的，得看上游厂商愿不愿意接你的订单。

    他之前花高价从荷兰买配件，就是因为那些配件如果全部自己生产的话，先不说短时间能不能生产出来，就算能做出来，价格也要贵上十倍都不止！

    不过以后不行了，欧美日韩对星海进行了全面的技术封锁，荷兰那边已经pass掉xhzz的订单申请。

    不仅仅是荷兰，德国跟日苯那边的零部件订单也毁约了，导致最关键的超精密工件台一直不能达到满意要求。

    来到实验室，陈序控制机器人调校超精密工件台，而小白则根据电脑上的反馈结果重新编写控制程序。

    一遍、两遍、十遍……

    这一做就是十二小时，饿的实在撑不住了才出去吃一点，然后继续全身心的投入到实验中来。

    超精密机械的调校是非常耗费时间精力的，像米国cymer、德国蔡司的工程师对每一个部件的调校次数都有可能高达十年以上。

    当然，陈序不可能像那些工程师一样，花费十年去调校一个零部件，也不需要。

    小白会帮他省去百分之九十九的步骤。

    半个月后，经过陈序废寝忘食的工作，把超精密工件台的精度调校到了3nm。

    这是一个具有里程碑纪念意义的时刻！

    因为3nm的超精密工件台已经满足了14nm光刻机的制备工艺要求。

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