第463章 首台高端光刻机诞生(第 4/4 页)

    张潇也不以为意，自己的小心思完全可以大方的说出来。

    “行，高科创投基金的投资，有严格的内部审核程序。张总如果什么时候觉得需要了，可以提前递交申请。”

    高科创投基金现在逐渐走上了正轨，各项管理制度也日趋完善。一些该走的流程肯定要走，这话没毛病。

    张潇哈哈一笑，站起来说道：“胡总，走，我带你去看看研发团队的最新进展。”

    胡杨随即起身，带着吴馨慧等人，跟上了张潇的脚步。

    “胡总，请看，这是我们研发出来的第一台高端光刻机的样机。这台110nm光刻机，光源采用了光机所的193纳米arf光源，物镜是从德国进口的。”

    随着张潇的讲解，胡杨饶有兴致看着眼前的这台投影步进式光刻机。

    这一刻，对于国内半导体行业的所有人来说，都具有里程碑式的意义。这也就意味着，国产高端光刻机实现了零的突破，虽然和国外光刻机的技术差距依然很大，但已经让人看到了希望的曙光。

    “张董，你们下一步的打算是什么？”

    胡杨平复了一下有些激动的心情，转头看向张潇。

    “我们下一步的工作是，一方面将光刻机的研发继续向前推进，力争早日攻克90纳米光刻机并实现量产。另一方面，我们要开始研究浸没式光刻机的有关技术，希望五年之内能有所突破吧。”

    目前，微电子设备最新研发的110纳米光刻机，尚未实现量产。张潇打算继续完善设计和制造，为下一步90纳米光刻机的量产打下坚实的基础。

    至于浸没式光刻机的技术，那是后话了，要等到攻克了90纳米、65纳米光刻机以后，才会有实际意义，所以暂时还不用太着急。

    “张董，没想到你们的进展这么快！说实话，我今天看到了这台110纳米光刻机的样机，让我对于国产高端光刻设备充满了信心。接下来公司如果在资金方面有困难，我绝对会大力支持的。”

    技术的事情胡杨帮不上忙，但他能提供资金的帮助。如果微电子设备向高科创投基金递交申请，多了不敢说，100亿元以内的资金还是没问题的。

    “哈哈，就等你这句话了。走，咱们再去别的地方转转。”

    张潇见自己的目的达到了，心情大好之余也不废话，继续带着胡杨等人在公司考察。