第一百零三章 二氧化铈(第 3/4 页)

    顾律脑中灵光一闪，瞬间明白问题的关键所在。

    在抛光过程中，除了抛光机以及被抛光的物件，用来进行辅助抛光作用的抛光液，也能极大的影响被抛光物件的精度。

    往往，不同型号的抛光机，不同被抛光的物件，最适宜使用的抛光液是不同的。

    “你们用的是哪种抛光液？”顾律沉声问道。

    “呃……”黄师傅愣了一下，随口回答，“我们现在使用的纳米三氧化二铝粉末抛光液。”

    林经理一脸紧张的看向顾律，“顾先生，有什么问题吗？”

    有问题，问题大了！

    纳米三氧化二铝粉末当做磨料，加入buehler phoenix bets型抛光机，进行单硅晶片的精密抛光，本身就是极为不智的一种举动。

    因为三氧化二铝这个东西，实在是太硬了啊！

    即便是纳米级别的三氧化二铝粉末，硬度也不会减少。在抛光过程中，肯定会对硅晶片造成损伤。

    另一方面，根据preston公式，mrr=pwnv。

    抛光磨料硬度越高，对应的切削深度越大，塑性磨削作用越弱。

    他想，他已经知道，为什么使用新设备抛光后的硅晶片，在精度方面一直达不到要求了。

    “抛光液用错了。”顾律眼神的平淡的看了张经理一眼，开口说道。

    “难道不是用三氧化二铝粉末抛光液吗，我之前在国营大厂里，一直都是用的这个。”说话的是黄师傅。

    顾律笑着开口解释，“对于那些精度不高的硅晶片，使用纳米三氧化二铝粉末当然没问题，因为制备简单，成本还低，但对于高精度抛光机，这种高硬度的抛光磨料，就明显不适用了。”

    “那顾先生，我们应该用哪种，当做纳米磨料？”张经理问。

    “二氧化铈。”顾律请吐出四个字。

    “二氧化铈？”张经理眉头皱起。

    “你们这没有这种抛光液？”顾律问。

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