195 0.001毫米级手工加工精度（月票1650加更）(第 3/4 页)

    老头测量后，从整齐排列的锉刀中找出了一把比笔芯粗不了多少的圆形锉刀，开始轻轻地错零件中间的孔。

    一边错，一边测量。

    “把跟这个装配的07号、13号零件拆下来。”老头一边锉，一边对着旁边装配的技术人员说道。

    在今天早上他们最后一次装配的时候，把所有需要更换的零部件给编了号。

    零件很快被拆卸下来，老头把几个孔一边测量一边修后，开始配合上面原来的零件进行更小心的修理。

    仅仅几个孔，就用了一个多小时的时间。

    随后，老头把零件装配上，取下，再装配上，取下。

    每一次重复的过程，都会用不同锉刀甚至砂纸修理已经变得光滑的孔。

    一直到最后不再修理孔的时候，才开始用大一些的平锉修理外形。

    一边锉，一边测量，随后开始用粗砂纸磨外形。

    铣刀加工零件留下的刀痕，在锉刀的作用下，开始消失，随后不同的砂纸让表面更加光滑。

    小零件是光刻机对准系统中一个非常关键的零件。

    这个小零件是带动显微镜调焦使用的关键。

    光刻机调焦机构移动轴带动着不停地进行细微移动，表面粗糙度达不到要求，会造成摩擦，从而形成位移误差，这个误差将会是好几个0.01毫米。

    而这玩意儿的制造工艺精度是1微米，也就是0.001毫米！

    正在修理的这台光刻机，这东西不仅变形了，同时也磨损了。

    显微镜什么的都是好的。

    只要解决了对焦系统的精度问题，确保工作台的移动精度能达到，再把其他的一些非核心关键的电子部件更换，就能使用。

    光刻机最重要的就是动作台部分，相当于芯片电路母版的样片在生产过程中装在光刻机上面，只要不出问题，就不会更换，不断地通过物理方法或化学方法把样片上的电路图复制到硅基片上。

    其实就相当于胶卷底片，可以不断地洗出同样的照片。

    掩膜版能否在规定的位置，决定了芯片所有电路的位置。

    否则，这方面的制造要求也不会如此高。

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