第27章 成为大红人的孙荣毅(第 2/4 页)

    他也遇到了相似的难题。

    光刻机的光源系统是由驱动激光器、光束传递系统和腔系统三部分组成。

    驱动激光系统包含co2激光器和预脉冲激光器。

    其中co2激光器是一套主振功率放大系统。

    该主振荡器包含多个量子级联激光器，一套再生放大器和一套基于射频放电激发、平板波导和多程放大器的后置放大系统。

    主要用于输入功率的级数增大。

    极紫外线光源系统的工作原理是通过高功率的激光器轰击金属靶、液体靶或气体靶，在焦点处产生等离子体，激光继续加热产生核心电离从而发出x射线。

    而预脉冲激光和c02激光束在光束传输系统中被混合起来，并通过euv腔系统中的对焦单元导入到等离子体态的锡液滴上。

    锡等离子体产生的euv光束被收集镜收集起来，并导入到曝光系统中。

    超导磁场系统位于腔体外部，并能在腔体内产生高强度的磁场，从而保护收集器镜面不受锡等离子体产生的高速锡离子的影响。

    可纵然加上了如此多的效率放大器。

    这套系统的效率转换也是出奇的低。

    在100hz下，最高仅仅只有1.2％的利用。

    而且输出功率也只堪堪达到量产的标准：212w！

    米国的西盟公司针对影响节点分析后发现。

    除了激光器本身功率低下的原因外，更重要的，还是降沉至镜面的锡沉积数。

    这是由于高功率co2激光器轰击锡滴液所造成的碎屑。

    污染收集镜和反射镜导致其破损，十几万的镜面需要定期更换是一回事。

    但毕竟能用钱解决的就完全不是问题。

    更要命的是，沉积在上面的残渣会对光线反射造成极大的影响。

    这，才是转换效率保持较低水平的原因。

    如今最普遍的做法就是磁性残渣减震技术和优化管道内通入的氢气气流来减缓。

    只是这样也会随之引入热效应，从而导致激光射击的困难。

    而且，效率也不过从原来的1.2％升级为3.87％。

    虽然在外人看来，这已经是极大的进步了。

    可对于王为这样一个拥有系统的天命主角来说，还是远远不足的。

    看向望着自己发呆的远处的黑影。

    他会心一笑，心中瞬间有了主意。

    …

    今日的龙科所内。

    孙荣毅俨然已经成为了明星一般的人物。

    只是他的粉丝们不是别人，而是那些平日里德高望重的院士们！

    此时却像是变了一个个人似的。

    言语和姿态中尽显谄媚。

    尤其是负责攻关光源和曝光系统两大项目的马如风和周大宝。

    一左一右将孙荣毅夹在中间。

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