第321章 怒吼的学术权威(第 2/3 页)

    “哈哈哈……”

    此言一出，车间走廊里立刻响起了一片善意的笑声。

    胡一亭笑道：“我是天才嘛，这一点江水书记都承认，你们还信不过我吗？我解的庞加莱猜想你们看过吗？觉得怎么样？”

    有工程师道：“胡总工你好，我叫奚龙山，我看过你的庞加莱猜想，不过看了一半就看不懂了，很惭愧啊，但我相信你是天才，真的！你很了不起！”

    胡一亭问：“奚工你留不留下？”

    奚龙山道：“我本来是想去庐州的，毕竟是省会大城市嘛，但看了你的《庞加莱猜想暨几何化猜想的完全证明》之后，我还是挺心动的，觉得你们重光是有很强的核心技术的，毕竟你们设计的几款芯片和程控机名气现在都很大，所以我主动申请留下来了。”

    胡一亭和康耀祥几乎同时道：“欢迎你加入重光！”

    奚龙山仿佛要考考胡一亭和康耀祥，问道：“胡总工，康总工，我们这套光刻机也是成光所的，自从把线宽从3微米调整到了1.5微米之后，透镜的发热问题就很严重了，你们将来要把五倍物镜换成8到10倍，那你们打算怎么解决曝光能量的发热问题，发热后引起镜头变形和偏焦，长时间这么干，那可要把设备毁了的。”

    听到奚龙山发难，立刻有同事也参与进来：“胡工康工你们好，我叫王选玉，也是214所的高级工程师，我想请问你们有什么办法解决光刻胶引起的显影缺陷吗？目前国内工艺里的光刻胶清洗中，残胶问题很突出，导致下一工序中的重复投影出现图形失效的问题很突出，你们的实验线有没有打算对这一问题进行改进？”

    顾峡生一看这阵仗吓了一跳，心说这不是为难人家嘛，这个胡一亭数学水平再高，也对付不了你们这群术业有专攻的高工啊！高级工程师可是副教授级别，研究员级高级工程师是正教授级别。好家伙，这一群人里倒有一半是正教授，剩下一半副教授，你们一人问一个问题，这胡总就是有三头六臂也答不上来吧！他虽然是世界级数学天才，有精通IC设计，但怎么说也不可能对工艺制程了解的像你们这么深啊！

    “大家都别为难胡总和康总了，这些技术问题是所有晶圆厂的通病，你们这样问，让康总和胡总怎么回答嘛！”

    康耀祥也讪讪地笑着，心说这还真不好回答，毕竟每个厂都有自己的工艺，解决问题的办法各不相同，真要笼统的回答，未免要被大家瞧不起，但若不结合具体问题来谈，那这个问题就没了边际，说道明天早上也说不完啊。

    正当康耀祥犹豫着怎么说才合适的时候，胡一亭却很认真地开了口。

    “这有什么难的，光刻机镜头是个大型组合镜头，光是镜片就有十几二十片，套筒一个接一个，想要完全避免几何畸变是不可能的，这个问题无论哪家光刻机厂商都有。

    作为照明源的高压汞灯能量很高，曝光时的快门速度只有零点几秒，自然是会导致镜头组件出现瞬间加热又瞬间冷却的几何畸变，但这些都是工程上的问题，我们做制程的不要去过多的考虑，不要去抱怨机子不如外国人的问题，要是机子和外国人一样好了，还要我们干什么！

    我们要知道，制程工艺里是允许几何畸变的，甚至要利用几何畸变，首先我们要摸清畸变的像场特征，从而在镜头对焦时寻找畸变误差最小的对位点，这既要求我们一次次的实验，寻找每个镜头的畸变像场特征，也要改进我们的硅片定位系统，改进激光干涉仪的精度，确保畸变可控。

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